青島福潤德牌frd-105高純砷提純設(shè)備
概述:青島福潤德微電子生產(chǎn)的高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進行氣氛保護下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。 歡迎廣大客戶朋友前來洽談業(yè)務(wù)。
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高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進行氣氛保護下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。
主要性能指標:
u外型形式:臥式結(jié)構(gòu),水平爐管
u工作溫度:200℃—1100℃
u恒溫區(qū)長度:根據(jù)工藝要求
u儀表控溫精度:千分之三高精度
u可通工藝氣體:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等
u氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制
u報警系統(tǒng):氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
u控制方式:程序控制或工控機+觸摸屏控制
產(chǎn)品特點:
u采用國內(nèi)獨有的開合式設(shè)計方式;
u工藝降溫速度快;
u生產(chǎn)效率高;
u設(shè)備維護簡便
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