高壓除泡機(jī)裝置ELT
概述:真空+壓力除泡,實(shí)現(xiàn)大氣泡去除
大幅提高UPH
高品質(zhì)/高信賴性
多樣性工藝/材料應(yīng)用
高速升溫/冷卻大幅短縮制程時(shí)間
低含氧量自動(dòng)控制/紀(jì)錄
降低揮發(fā)物污染設(shè)計(jì)
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產(chǎn)品特色
真空+壓力除泡,實(shí)現(xiàn)大氣泡去除
大幅提高UPH
高品質(zhì)/高信賴性
多樣性工藝/材料應(yīng)用
高速升溫/冷卻大幅短縮制程時(shí)間
低含氧量自動(dòng)控制/紀(jì)錄
降低揮發(fā)物污染設(shè)計(jì)
產(chǎn)品應(yīng)用
芯片黏著(DAF)
打印/灌封
通過灌裝/涂層
毛細(xì)管內(nèi)灌裝
封裝
模具覆膜
晶圓層壓
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