1~3軸氣浮平移臺(tái) 

概述：我公司的氣浮平移臺(tái)產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。 也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。 采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高
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2022-08-09 09:04:01 點(diǎn)擊49182次
分類(lèi)：
行業(yè)設(shè)備
服務(wù)區(qū)域：
全國(guó)
聯(lián)系電話：
18610242118
信用：4.0  隱性收費(fèi)：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務(wù)態(tài)度：4.0
默認(rèn)4分 我要打分
我公司的氣浮平移臺(tái)產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場(chǎng)合。
可提供超長(zhǎng)行程單軸工作臺(tái)。
也可采用音圈電機(jī)、高精度絲杠配合我們獨(dú)創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)。
平移臺(tái)可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)。
1~3軸氣浮平移臺(tái)
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  • 高精度空間裝置測(cè)量設(shè)備
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